功能特色

• 堅固耐用，維護簡單
• 用於捕捉最小細節到物理極限的顯微技術
• 面積覆蓋量測方法可快速獲得量測結果
• 全系列多感測器設置使用，並附加照明的整合CCD Camera
• 高精度電動感測器傳送整合方法
• 具有高運動和定位精度的X、Y、Z精密工作平台
• 穩定的花崗岩結構，具有出色的防震台阻尼性能 (或選購主動式防震台)
• 微結構物高解析3D量測只需幾秒間
• 可測定高/低反射，透明表面之微結構
• 可測定參數項目：粗糙度、膜厚、段差、2D/3D剖面、輪廓形貌、間隙溝深、角度、平/共面度、翹曲度......等

應用領域

• 製造工程：半導體科技、光電科技、光學製造、工業量測過程、質量保證
• 奈米工程：汽車產業、鋼鐵製造、塑膠造紙業、微機械和奈米技術
• 量測項目：3D形貌幾何量測、粗糙度量測、結構組織量測
• 適用範圍：產品R/D及實驗室、醫療技術及學術研究、進貨檢查、製程改造、生產管制、品質檢驗、失效性檢驗、故障分析